穿上凈化服、戴上口罩、經(jīng)過(guò)強(qiáng)風(fēng)的“風(fēng)淋室”后，記者走進(jìn)了上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。展現(xiàn)在眼前的是一個(gè)擺滿了高科技儀器設(shè)備的潔凈世界，許多穿著凈化服、戴著口罩的科研人員，在不同的機(jī)器之間穿梭忙碌。
這里是我國(guó)最先進(jìn)的高端硅基集成電路晶圓片材料ＳＯＩ研發(fā)平臺(tái)，也是中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長(zhǎng)王曦院士為之奮斗十多年的地方。
這些看上去光潤(rùn)無(wú)瑕、如同一面面灰色圓鏡的ＳＯＩ材料，專業(yè)名稱叫“絕緣體上的硅”，是國(guó)際公認(rèn)的２１世紀(jì)新一代硅基材料，在低壓、低高溫電路、耐高溫電路、微機(jī)械傳感器、光電集成等方面都有重要應(yīng)用。
早在２０世紀(jì)８０年代初，中科院就已經(jīng)開(kāi)始ＳＯＩ技術(shù)研究，但僅僅停留在論文上，從沒(méi)有走出實(shí)驗(yàn)室。眼看國(guó)際上ＳＯＩ產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用技術(shù)突飛猛進(jìn)，１９９８年，王曦放棄國(guó)外優(yōu)越生活，毅然回國(guó)挑起了中科院ＳＯＩ項(xiàng)目的“大梁”。
“現(xiàn)在回想起來(lái)，當(dāng)時(shí)選擇回國(guó)，是我人生中最為重要的一個(gè)正確決定。作為一名科研人員，只有回到祖國(guó)的懷抱，才能腳踏實(shí)地去探索，才能實(shí)現(xiàn)自己的志向，才會(huì)大有作為。”王曦說(shuō)。
為了盡快趕上國(guó)際先進(jìn)水平，王曦帶領(lǐng)科研團(tuán)隊(duì)通宵達(dá)旦地在實(shí)驗(yàn)室里加班加點(diǎn)，他們采用工程化管理，每個(gè)階段都設(shè)定了指標(biāo)。“離子注入”是王曦鉆研多年的ＳＯＩ材料制備中的關(guān)鍵技術(shù)?；貒?guó)后，王曦成功地利用創(chuàng)新技術(shù)完成了ＳＯＩ材料技術(shù)工程化研究，建立了生產(chǎn)線。
剛開(kāi)始，生產(chǎn)線上做出來(lái)的ＳＯＩ硅片瑕疵斑點(diǎn)很多，如同一片片“麻餅”。經(jīng)過(guò)漫長(zhǎng)的艱苦跋涉、晝夜奮戰(zhàn)，他帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)終于生產(chǎn)出一個(gè)個(gè)光潤(rùn)無(wú)瑕、晶瑩剔透的“三明治”圓片。
“王老師工作極其認(rèn)真細(xì)致、精益求精，大至行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)、課題研究方向，小到學(xué)生們每一篇論文的標(biāo)點(diǎn)符號(hào)，他都事無(wú)巨細(xì)親自把關(guān)。因此，他每天的時(shí)間總是排得滿滿的，我們經(jīng)常在半夜里收到他的電子郵件。”王曦的學(xué)術(shù)秘書俞文杰說(shuō)。
創(chuàng)建公司、將ＳＯＩ材料產(chǎn)業(yè)化是王曦人生中第二個(gè)重要選擇。２００１年，在國(guó)家有關(guān)部委和中科院領(lǐng)導(dǎo)的支持下，王曦帶領(lǐng)ＳＯＩ項(xiàng)目組骨干創(chuàng)建了上海新傲科技有限公司，從“科學(xué)家”轉(zhuǎn)型為“企業(yè)家”。
２００２年，中國(guó)第一批商業(yè)化生產(chǎn)的ＳＯＩ圓片問(wèn)世，這讓美國(guó)硅谷驚呆了。當(dāng)?shù)亍栋雽?dǎo)體商業(yè)新聞》曾驚呼：就像在一夜之間，中國(guó)“突然冒出了一個(gè)現(xiàn)代化的高端集成電路硅基片企業(yè)”。
２００６年，王曦負(fù)責(zé)的“高端硅基ＳＯＩ材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目榮獲國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，在關(guān)鍵技術(shù)上取得一系列重大創(chuàng)新，申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利３２項(xiàng)，并已獲授權(quán)１６項(xiàng)。
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資料整理：趙德平@青島美特斯凈化設(shè)備有限公司（ ），轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。
